石英玻璃需要怎样清洗?

      新闻发布时间:2013-7-2新闻浏览次数:2405新闻作者:锦泰特种玻璃
    石英玻璃在半导体工业设备上,使用温度经常在1000℃至1300℃之高温状态,在此种状态下由于附著不纯物导致失透现象发生,失透之部分为石英之晶质化,晶质化之变态点为275℃,当石英玻璃自高温降至此变态温度时,表面失透之晶质化部分与石英玻璃本身高温之α相与低温之β相间膨胀系数不同在急速冷却下产生不透明之剥离状,更严重时会造成破裂现象产生。为使石英制品能使用更久,就必须注意防止造成石英失透产生的原因,而造成失透的污染源就属碱金属、碱土金属、汗水、口水、油污、尘埃……等等。且0.1mg/cm2l}k
    就会造成数十倍或数百倍的失透量。 因此,防止这些污染源附著在石英表面上除了不直接用空手去拿石英外,使用在高温作业之前必先做清洗之工作以确保石英表面之洁净度。
    一般石英之洗净须要一些程序,首先用纯水先冲洗表面,再置入酸洗槽内浸泡一些时间,取出后再用纯水冲洗后晾干。 酸液之种类如下:
    ◆ 种类/项目      浓度           时间
    ◆ 氟酸(HF)  47.0%~52.0%     1~2分钟
    ◆ 氟酸(HF)   5.0%~10%      10~15分钟
    ◆ 氟酸+硝酸    50%+65%       10~15分钟
    ◆ 氟酸+硫酸    50%+65%       10~15分钟
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