几种石英玻璃生产工艺简介
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新闻发布时间：2013-6-22新闻浏览次数：3997新闻作者：锦泰特种玻璃
1、单棒电熔炉工艺 以熔炼水晶为原料，直径30—60mm×1200—2000mm的石墨棒，通电加热，熔化温度依靠表面功率来控制，温度达到1900℃时将熔炼水晶熔化，此时SiO2+C→SiC+CO↑反应使石英玻璃与石墨棒分离并产生一定内压，温度继续提高，不会再起硅炭反应。该工艺可以生产石英玻璃砖、各种不透明石英玻璃器皿（石英玻璃筒、石英玻璃管、石英玻璃坩埚等）。
2、真空电阻炉及真空加压炉工艺 由真空常压炉经技改为真空加压炉，炉子有大、中、小三种，最大的直径4米，加热依靠一排石墨棒，烤化炉内的熔炼水晶，可以生产大块光学石英玻璃，现在军工用的红外光学石英玻璃全部用它生产；中型的直径1m—1.5m，用来生产高捏红外光学石英玻璃，用机械真空泵和罗茨泵抽真空，可达10-4mm Hg，加压用瓶装氮气，一般20—25kg/cm2，做光学石英玻璃的原料都是经过特殊加工的一级熔炼水晶；小型真空加压炉直径650mm高800mm，生产石英管用J—550或H—8真空泵抽真空，高温真空度10-1mm Hg,用石墨坩埚为熔器。国外：法国、日本、美国（50—60年代）用真空炉熔化石英坨，再用石英坨二次在电阻炉内拉管，用这种方法可以生产大直径管（直径80—直径200mm）用于电子工业。
3、电熔连熔炉工艺 以水晶砂或高纯石英砂为原料，钨、钼材料作为熔化溶器和通电加热材料，温度可达2100℃以上，连续加热、连续加料、连续拉制石英玻璃管，正常生产一般为连续一年左右。国产连熔炉工艺有很多缺点，自从东海县石英制品总厂引进国外全套技术、工艺及设备，经过消化吸收、技术创新，促进了中国石英玻璃行业整体水平有了很大提高，照明用透明石英玻璃管已接近或达到国外先进水平（OH-<3ppm），并出口国外，推动了中国照明用石英玻璃产量、质量上了新的台阶。
4、氢氧气炼工艺 该工艺是先用电解制氢氧技术，能生产大量氢氧气，然后大量生产半导体技术用石英玻璃产品，其中有管子、坩埚，石英玻璃成器器皿、光学石英玻璃等。该工艺为无接触法生产，所以纯度高。采用分层熔化排除气泡，采用优质水晶做原料。
5、电弧法工艺 利用电弧的高温制造石英玻璃坩埚，节能，可以制造大规模产品，该工艺可以生产直径 8"—直径 16"石英坩埚，也可以生产石英玻璃大钟罩，用于多晶硅生产。
6、气担沉积工艺 采用化工原料SiCl4或SiHCl3为原料，在氢氧焰或者等离子火焰中热分解、水解：SiCl4+H2+ O2→SiCl4+H2O→4HCl+ SiO2，此时的SiO2是水解产物呈烟雾状，沉积在石英靶面上，制成石英坨，再冷加工成光学产品，也可入电阻炉拉管，拉棒。该产品纯度高，金属杂质总量1—5ppm。但羟基含量高达1200ppm，作为光学产品用石英玻璃，紫外线透过率好，耐辐射性能也特别好，可用于航天技术，精密光学仪器。
7、二步法工艺 该工艺是把气炼和电熔二个工艺综合起来，也就是用真空电阻炉生产石英坨，再用石英坨电阻炉中二次拉管，可拉制成直径80—直径150mm大直径石英玻璃管，用于半导体技术。
8、掺杂工艺 石英玻璃是SiO2单一成份，才有那么多优良性能，掺杂是为了吸收紫外线；有一些产品如激光灯、无臭氧灯等，希望石英玻璃吸收某一波段紫外线，同时还要保留石英玻璃其它性能，这就出现了掺杂工艺，掺杂元素是特定的几种能吸收紫外线，如：Ti、Ce、Eu等元素，而且量都很少，一般只掺几十至几百ppm（1000ppm=1%），所以一般掺杂量为0.05%—0.2%。
9、石英玻璃的热加工技术 俗称玻璃灯工，是玻璃仪器、器皿加工技术延用过来的。石英玻璃仪器、器皿就是手艺性极高的玻璃灯工师傅用氢氧焰烧、吹、焊而成的。用的原材料是石英玻璃管、石英玻璃棒、石英玻璃板。
