电真空玻璃是制造电真空器件的主要材料之一,广泛应用于电子技术、微电子技术、激光和红外技术、电光源、高能物理等方面,在宇航工业、能源、汽车工业、化学工业等领域有极其重要的作用。在需要耐高温、高绝缘性、耐高频、红外透过或吸收以及防X射线等场合,电真空材料具有其他材料不可替代的作用,随着近代微电子技术、光电子技术的发展,对电子器件的小型化和结构元件的精密化方面的要求越来越高,进而对电真空玻璃制品的可靠性和品种的要求也日益增多,电真空玻璃的研究开发与产业化的发哦了快速的发展。
电真空玻璃在组成上大致可以分为有铅玻璃和无铅玻璃,电真空玻璃的化学组成主要特点是
1.有铅玻璃基本属于PbO-SiO2(B2O3、Al2O3)-MO-R2O体系,(M为碱土金属离子,R为碱金属离子),组成中化合物的种类相对较少,且PbO的含量较高。
2.无铅玻璃主要包括硅酸盐和磷酸盐玻璃两个体系,通常以碱金属氧化物CaO、MgO、SrO、BaO等取代PbO。
3.无铅玻璃引入Li2O以降低玻璃的高温粘度,同时利用Li2O、Na2O、K2O的混合碱效应提高其体积电阻率。
4.无铅玻璃引入一定量CaO提高了玻璃的绝缘性,但CaO的引入量是玻璃脆性增加从而影响玻璃的后续加工性能。这可通过适量提高MgO及K2O含量或引入BaO、ZnO、TiO等氧化物来改善其加工性能。