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石英玻璃脱羟的工艺条件
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石英玻璃脱羟的工艺条件
新闻发布时间:2013-5-17
新闻浏览次数:2530
新闻作者:锦泰特种玻璃
羟基是高温水蒸气、H2与石英玻璃中硅氧键作用形成的,同时上述羟基形成的反应是一个可逆反应,因此在高温下,当外界条件为真空、干燥无氢等情况下,即当外界H2、水蒸气的分压极小的情况下,羟基即可扩散出来。
石英玻璃脱羟的工艺条件如下
1.脱氢气氛。采用干燥(无水)和无氢气的气氛条件。一般采用真空脱羟(真空脱羟炉中进行)、在脱羟炉中通入干燥的氮气脱羟或在干燥的空气中脱羟。
2.脱羟温度。脱羟实际是石英玻璃中Si-OH之间的-OH和H+反应生成H2O分子而扩散释出的过程,因此温度要达到石英玻璃的应变温度,大量实验证明,脱羟温度在应变温度和转变温度之间较为合适,温度低、分子运动慢,脱羟时间长;温度高,拖腔时间短,但玻璃在高温下易产生变形或析晶。通常温度在950-1100℃之间。
3.脱羟时间。脱羟时间取决于石英玻璃的制备工艺及规格尺寸、所采用的脱羟气氛及温度。
在正常熔制情况即氧化或中性气氛下如SiCl4为原料、氢氧焰为热源高温水解气相沉积合成的石英玻璃和以水晶为原料、氢氧焰为热源气炼熔制的和石英玻璃中大部分羟基呈稳定状态,制品的规格尺寸达的话,即使脱羟时间再长也很难将其中的羟基全部脱出。通常0.5-1.0mm厚合成和气炼石英玻璃片在真空或干燥的N2、1050℃的脱羟条件下,经过140h以上方可脱出50%左右的羟基,时间再长几乎不再脱出。
而在富氢的还原性气氛中熔制的石英玻璃如以H2为保护性气体的连熔炉熔制的石英玻璃,由于氧缺陷的存在,石英玻璃中的羟基呈亚稳状态,很容易扩散放出H2,如0.5-1.0mm厚炼熔石英玻璃管在真空或流动的干燥N2、1050℃的脱羟条件下,经过2h以上方可脱出90%以上的羟基。
同样,若在富氢的还原性气氛下合成或气炼的石英玻璃,相同脱氢条件下,也可大幅增加脱羟量。
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