精馏是实现多级部分气化和多级部分冷凝的实用技术。精馏提纯是耐超高温玻璃原料生产工艺中的一个重要工艺。在化学提纯中,精馏提纯是极为有效的重要方法之一。在硅的提纯过程中,SiCl4、SiHCl3、SiH2Cl2、SiH4均可以采用精馏技术进行提纯。精馏是利用不同组分沸点不同,同一温度下各组分蒸汽压不同的特点进行的,设备以板式塔为主,有泡罩塔、筛板塔和浮阀塔,另外还有填料塔,其中筛板塔和填料塔是SiCl4提纯的重要设备。
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